THE EFFECT OF THE SOURCE OPTICS AND THE TEMPERATURE OF THE SPUTTER SURFACE ON THE NEGATIVE-ION YIELD OF THE SPUTTER SOURCE MISS-4M

被引:3
作者
MATTHES, H
PFESTORF, W
STEINERT, L
机构
关键词
D O I
10.1016/0167-5087(84)90419-8
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
引用
收藏
页码:112 / 114
页数:3
相关论文
共 2 条
[1]  
BILLEN JH, 3RD P INT C EL ACC T, P238
[2]  
MATTHES H, 3RD P INT C EL ACC T, P242