GROWTH-MORPHOLOGY DETERMINATION IN THE INITIAL-STAGES OF EPITAXY BY XPS

被引:44
作者
EGELHOFF, WF
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1984年 / 2卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.572737
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
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页码:350 / 352
页数:3
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