SHALLOW DOPING PROFILES FOR HIGH-SPEED BIPOLAR-TRANSISTORS

被引:2
作者
EHINGER, K
KABZA, H
WENG, J
MIURAMATTAUSCH, M
MAIER, I
SCHABER, H
BIEGER, J
机构
来源
JOURNAL DE PHYSIQUE | 1988年 / 49卷 / C-4期
关键词
D O I
10.1051/jphyscol:1988423
中图分类号
学科分类号
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页码:109 / 112
页数:4
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