THIN FILM THICKNESS MEASUREMENT USING SILVER-MODIFIED NEWTONS RINGS

被引：10

作者：

STERN, BJ

机构：

来源：

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1963年 / 34卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1718291

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：152 / &

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共 6 条

[1]

BORN M, 1959, PRINCIPLES OPTICS, P288

[2]

HEAVENS OS, 1955, OPTICAL PROPERTIES T, P110

[3]

HEAVENS OS, 1955, OPTICAL PROPERTIES T, P107

[4]

TOLANSKY S, 1960, SURFACE MICROTOPOGRA, pCH5

[5]

TOLANSKY S, 1948, MULTIPLE BEAM INTERF, pCH4

[6]

TOLANSKY S, 1960, SURFACE MICROTOPOGRA