MECHANICAL THICKNESS MONITORS AND RATEMETERS FOR VACUUM EVAPORATION

被引：5

作者：

BEAVITT, AR

机构：

来源：

JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1966年 / 43卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1088/0950-7671/43/3/315

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：182 / &

共 6 条

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