INCREASE IN TC OF NB FILMS IMPLANTED WITH N2+

被引：6

作者：

MASUDA, K

OHSAWA, A

GAMO, K

TAKAI, M

NAMBA, S

MIZOBUCHI, A

机构：

[1] OSAKA UNIV,FAC ENGN SCI,OSAKA,JAPAN

[2] OSAKA UNIV,FAC SCI,OSAKA,JAPAN

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1975年 / 14卷 / 11期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.14.1831

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

收藏

页码：1831 / 1832

页数：2

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共 2 条

[1]

CROZAT P, 1974, APPL ION BEAM METALS, P27

[2]

MEYER O, 1974, APPLICATIONS ION BEA, P15