PHOTOLITHOGRAPHIC FABRICATION OF HIGH-FREQUENCY 2ND SOUND DETECTORS

被引：12

作者：

LAGUNA, G ^{[1
]}

机构：

[1] CALTECH,PASADENA,CA 91109

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0011-2275(76)90268-X

中图分类号：

O414.1 [热力学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：241 / 243

页数：3

共 7 条

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