SYNCHROTRON PLANE-WAVE X-RAY TOPOGRAPHY OF 6-INCH DIAMETER SI CRYSTAL

被引:22
作者
KITANO, T
ISHIKAWA, T
MATSUI, J
AKIMOTO, K
MIZUKI, J
KAWASE, Y
机构
来源
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS | 1987年 / 26卷 / 02期
关键词
D O I
10.1143/JJAP.26.L108
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:L108 / L110
页数:3
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