APPLICATIONS OF OPTICAL-PROPERTIES OF SPUTTERED-CHROMIUM THIN-FILMS IN PHOTOMASK MAKING

被引：2

作者：

HSIA, LC

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2116034

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：2133 / 2137

页数：5

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共 6 条

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