IMPLANTATION OF NI THIN-FILMS AND SINGLE-CRYSTALS WITH AG IONS

被引:39
作者
WANG, P
THOMPSON, DA
SMELTZER, WW
机构
[1] MCMASTER UNIV,DEPT ENGN PHYS,HAMILTON L8S 4M1,ONTARIO,CANADA
[2] MCMASTER UNIV,INST MAT RES,HAMILTON L8S 4M1,ONTARIO,CANADA
关键词
D O I
10.1016/0168-583X(85)90536-1
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
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页数:6
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