UNDERSTANDING IC LITHOGRAPHY

被引：3

作者：

ZIGER, DH

机构：

[1] AT&T Bell Laboratories in Allentown, PA

来源：

IEEE CIRCUITS AND DEVICES MAGAZINE | 1992年 / 8卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1109/101.158512

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

[No abstract available]

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页数：6

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共 5 条

[1] MACK CA, 1991, MICROELECTRONICS MAN, V1, P36
[2] SETHI, 1991, P SPIE, V1463, P39
[3] TAKEMOTO, 1991, P SPIE, V1464, P206
[4] ZIGER, 1991, AICHE J, V37, P1863
[5] ZIGER, 1992, OPTICAL ENG, V31, P98