PASSIVATION COATINGS ON SILICON DEVICES

被引:61
作者
SCHNABLE, GL [1 ]
KERN, W [1 ]
COMIZZOLI, RB [1 ]
机构
[1] RCA LABS, PRINCETON, NJ 08540 USA
关键词
D O I
10.1149/1.2134402
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
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页码:1092 / 1103
页数:12
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