ORGANOSILICON DEEP UV POSITIVE RESIST CONSISTING OF POLY(P-DISILANYLENEPHENYLENE)

被引：35

作者：

NATE, K ^{[1
]}

INOUE, T ^{[1
]}

SUGIYAMA, H ^{[1
]}

ISHIKAWA, M ^{[1
]}

机构：

[1] KYOTO UNIV,FAC ENGN,KYOTO 606,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1002/app.1987.070340709

中图分类号：

O63 [高分子化学（高聚物）];

学科分类号：

070305 ; 080501 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：2445 / 2455

页数：11

共 7 条

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