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A SPECIAL SILICON DIAPHRAGM PRESSURE SENSOR WITH HIGH OUTPUT AND HIGH-ACCURACY
被引：47
作者：
SHIMAZOE, M
MATSUOKA, Y
YASUKAWA, A
TANABE, M
机构：
来源：
SENSORS AND ACTUATORS
|
1982年
/
2卷
/
03期
关键词：
D O I：
10.1016/0250-6874(81)80047-9
中图分类号：
O65 [分析化学];
学科分类号：
070302 ;
081704 ;
摘要：
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页码：275 / 282
页数：8
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