POWER DISSIPATED IN LOW-PRESSURE RADIO-FREQUENCY DISCHARGE PLASMAS

被引：126

作者：

POPOV, OA ^{[1
]}

GODYAK, VA ^{[1
]}

机构：

[1] MV LOMONOSOV STATE UNIV,DEPT PHYS,MOSCOW 117234,USSR

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.335395

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：53 / 58

页数：6

共 18 条

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