DEFORMATION OF EPITAXIAL STRUCTURES ON THE BASIS OF GAAS IN THE PROCESS OF THEIR PRODUCTION

被引：1

作者：

GORODNICHENKO, OK

PRESNOV, VA

VASILENKO, ND

机构：

来源：

PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1983年 / 78卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1002/pssa.2210780265

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：K171 / K173

页数：3

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共 4 条

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