FORMATION OF STRUCTURE IN POLYSILICON FILMS

被引：2

作者：

ALEKSANDROV, LN ^{[1
]}

EDELMAN, FL ^{[1
]}

VOSKOBOINIKOV, VV ^{[1
]}

机构：

[1] ACAD SCI USSR,SEMICOND PHYS INST,NOVOSIBIRSK,USSR

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(76)90303-5

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：241 / 245

页数：5

共 8 条

[1]

ALEKSANDROV LN, 1973, DEFEKTY STRUKTURY PO, P10

[2]

ALEKSANDROV LN, 1971, PROCESSES GROWTH SYN, P175

[3]

ALEKSANDROV LN, 1969, THIN SOLID FILMS, V3, P395

[4]

ALEKSANDROV LN, 1975, PROTSESSY ROSTA SINT, V1, P5

[5]

EDELMAN FL, 1975, PROCESSES GROWTH SYN, V1, P147

[6]

EDELMAN FL, 1974, MIKROELEKTRONIKA, V3, P421

[7]

EDELMAN FL, 1974, MIKROELEKTRONIKA, V5, P554

JOYCE, BA ;

BRADLEY, RR ;

WATTS, BE ;

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PHILOSOPHICAL MAGAZINE, 1969, 19 (158) :403-&