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SIMPLIFIED TECHNIQUE FOR USE IN MULTIPLE THIN-FILM DEPOSITION SYSTEMS
被引：4
作者：
CHIRLIAN, PM
PHAIR, HW
MARSOCCI, VA
KRASZEWSKI, WV
机构：
关键词：
D O I：
10.1063/1.1719290
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要：
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页数：1
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