DEVELOPMENT OF A 3-DIMENSIONAL NONCONTACT DIGITAL OPTICAL PROFILER

被引:75
作者
WYANT, JC
KOLIOPOULOS, CL
BHUSHAN, B
BASILA, D
机构
[1] IBM CORP,GPD LAB,TUCSON,AZ 85744
[2] WYKO CORP,TUCSON,AZ 85716
来源
JOURNAL OF TRIBOLOGY-TRANSACTIONS OF THE ASME | 1986年 / 108卷 / 01期
关键词
D O I
10.1115/1.3261137
中图分类号
TH [机械、仪表工业];
学科分类号
0802 ;
摘要
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