USE OF A RAPID ANNEAL TO IMPROVE CAF2-SI (100) EPITAXY

被引：34

作者：

PFEIFFER, L

PHILLIPS, JM

SMITH, TP

AUGUSTYNIAK, WM

WEST, KW

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.95830

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：947 / 949

页数：3

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共 5 条

ISHIWARA, H ;

ASANO, T .

[2]

PEOPLE R, 1984, NOV P S LAY STRUCT E

[3]

PHILLIPS JM, 1984, NOV P S LAY STRUCT E

[4]

SEIDEL TE, 1985, NUCL INSTRUM MET MAR

[5]

MODEL AG HEATPULSE 2