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A THROTTLE VALVE FOR AUTOMATIC PRESSURE CONTROL IN SPUTTERING AND REACTIVE SPUTTER ETCHING
被引：2
作者：
LEHMANN, HW
CURTIS, BJ
FEHLMANN, R
机构：
来源：
关键词：
D O I：
10.1016/0042-207X(84)90205-7
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页码：679 / 681
页数：3
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