USE OF A FAST ATOM BEAM IN ION MICROSCOPY (FABIM) FOR ANALYSIS OF POORLY CONDUCTING MATERIALS

被引:17
作者
DEGREVE, F
LANG, JM
机构
关键词
D O I
10.1002/sia.740070405
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
引用
收藏
页码:177 / 187
页数:11
相关论文
共 12 条