LIQUID-PHASE EPITAXIAL-GROWTH OF 6H-SIC BY VERTICAL DIPPING TECHNIQUE

被引：9

作者：

SUZUKI, A ^{[1
]}

IKEDA, M ^{[1
]}

MATSUNAMI, H ^{[1
]}

TANAKA, T ^{[1
]}

机构：

[1] KYOTO UNIV, FAC ENGN, DEPT ELECT, KYOTO 606, JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2134123

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：1741 / 1742

页数：2

共 7 条

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SUZUKI, A ;

MATSUNAMI, H ;

TANAKA, T .