BROAD-BEAM ELECTRON SOURCE

被引:7
作者
KAUFMAN, HR
ROBINSON, RS
机构
[1] COMMONWEALTH SCI CORP,ALEXANDRIA,VA 22314
[2] COLORADO STATE UNIV,DEPT PHYS,FT COLLINS,CO 80523
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1985年 / 3卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.573377
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:1774 / 1778
页数:5
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