ADHESION AND DEFORMATION OF METAL POLYIMIDE LAYERED STRUCTURES

被引:55
作者
FAUPEL, F [1 ]
YANG, CH [1 ]
CHEN, ST [1 ]
HO, PS [1 ]
机构
[1] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HTS,NY 10598
关键词
D O I
10.1063/1.342903
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:1911 / 1917
页数:7
相关论文
共 12 条