PHYSICAL STATE OF IMPLANTED TUNGSTEN IN COPPER

被引：28

作者：

CULLIS, AG

POATE, JM

BORDERS, JA

机构：

[1] BELL TEL LABS,MURRAY HILL,NJ 07974

[2] SANDIA LABS,ALBUQUERQUE,NM 87115

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1976年 / 28卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1063/1.88766

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：314 / 316

页数：3

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共 5 条

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[2] BRICE DK, P C APPLICATION ION
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