SOME THEORETICAL ASPECTS OF ERROR SEPARATION TECHNIQUES IN SURFACE METROLOGY

被引：183

作者：

WHITEHOUSE, DJ ^{[1
]}

机构：

[1] RANK PRECISION IND,DEPT RES,LEICESTER LE5 3RG,ENGLAND

来源：

JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1976年 / 9卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1088/0022-3735/9/7/007

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：531 / 536

页数：6

共 12 条

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