SECONDARY-ELECTRON DETECTION SYSTEMS FOR QUANTITATIVE VOLTAGE MEASUREMENTS

被引：44

作者：

MENZEL, E ^{[1
]}

KUBALEK, E ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV DUISBURG GESAMTHSCH,FACHBEREICH ELEKTROTECH,WERKSTOFF ELEKTROTECH,D-4100 DUISBURG,FED REP GER

来源：

关键词：

D O I：

10.1002/sca.4950050401

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：151 / 171

页数：21

共 31 条

[1]

BALK LJ, 1976, SCANNING ELECTRON MI, V1, P615

[2]

BALLU Y, 1980, ADV ELECTRON ELE B S, V13, P257

BANBURY, JR ;

NIXON, WC .

JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 1969, 2 (12) :1055-&

[4]

BEAULIEU RP, 1972, 10TH P REL PHYS S, P32

CHUNG, MS ;

EVERHART, TE .

[6]

DRIVER MC, 1969, SCANNING ELECTRON MI, P403

[7]

DYUKOV V, 1978, MICROSC ACTA, V80, P367

FENTEM, PJ ;

GOPINATH, A .

JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 1974, 7 (11) :930-933

[9]

FEUERBAUM HP, 1979, SEM, V1, P285

[10]

FLEMMING JP, 1970, SCANNING ELECTRON MI, P465