ERROR IN DIELECTRIC-FILM ELLIPSOMETER DETERMINATIONS DUE TO NEGLECT OF FILM ABSORPTION

被引:11
作者
PETERSON, DW
BASHARA, NM
机构
关键词
D O I
10.1364/JOSA.55.000845
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
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页码:845 / &
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