ELECTRICAL CHARACTERIZATION OF EPITAXIAL LAYERS

被引：201

作者：

STILLMAN, GE ^{[1
]}

WOLFE, CM ^{[1
]}

机构：

[1] MIT,LINCOLN LAB,LEXINGTON,MA 02173

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(76)90355-2

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：69 / 88

页数：20

共 40 条

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