DISSOLUTION OF FUSED SILICA IN MOLTEN SILICON

被引:38
作者
CHANEY, RE [1 ]
VARKER, CJ [1 ]
机构
[1] MOTOROLA INC,DIV SEMICOND PROD,MAT RES LAB,PHOENIX,AZ 85008
关键词
D O I
10.1016/0022-0248(76)90101-9
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
摘要
引用
收藏
页码:188 / 190
页数:3
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共 5 条
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