AUGER-ELECTRON SPECTROSCOPIC STUDY OF THE ETCHING OF CADMIUM TELLURIDE AND CADMIUM MANGANESE TELLURIDE

被引:45
作者
FELDMAN, RD
OPILA, RL
BRIDENBAUGH, PM
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1985年 / 3卷 / 05期
关键词
D O I
10.1116/1.572912
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:1988 / 1991
页数:4
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