A 4-VACUUM-CYCLE LIFT-OFF PROCESS FOR THE POLYCRYSTALLINE CDSE THIN-FILM TRANSISTOR

被引：8

作者：

VANFLETEREN, J

VANCALSTER, A

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/EDL.1985.26025

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：11 / 13

页数：3

共 7 条

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