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QUANTITATIVE PARTICULATE CONTAMINATION STUDIES UTILIZING REDUCED TURBULENCE PUMPING AND VENTING
被引：8
作者：
HOH, PD
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS
|
1984年
/
2卷
/
02期
关键词：
D O I：
10.1116/1.572722
中图分类号：
TB3 [工程材料学];
学科分类号：
0805 ;
080502 ;
摘要：
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页码：198 / 199
页数：2
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