APPARATUS FOR MEASUREMENT OF THE ANGULAR-DISTRIBUTION OF PARTICLES SPUTTERED FROM TARGETS AT HIGH-TEMPERATURES

被引：1

作者：

ANDERSEN, HH ^{[1
]}

JEPPESEN, BJ ^{[1
]}

OLESEN, S ^{[1
]}

STENUM, B ^{[1
]}

SORENSEN, T ^{[1
]}

WHITLOW, HJ ^{[1
]}

机构：

[1] AARHUS UNIV,INST PHYS,DK-8000 AARHUS C,DENMARK

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(83)90661-9

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页数：2