SUMMARY ABSTRACT - CHARACTERIZATION OF ION-BEAM DEPOSITED DIAMONDLIKE CARBON COATING ON SEMICONDUCTORS

被引：16

作者：

KOEPPE, PV ^{[1
]}

KAPOOR, VJ ^{[1
]}

MIRTICH, MJ ^{[1
]}

BANKS, BA ^{[1
]}

GULINO, DA ^{[1
]}

机构：

[1] NASA,LEWIS RES CTR,CLEVELAND,OH 44135

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1985年 / 3卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.572875

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：2327 / 2328

页数：2