GAALAS/GAAS MOCVD SELECTIVE EPITAXY FOR MONOLITHIC OPTICAL-DEVICE INTEGRATION WITH COMPLEX GAAS ICS

被引:1
作者
KIM, ME [1 ]
HONG, CS [1 ]
KASEMSET, D [1 ]
COLEMAN, JJ [1 ]
BERNESCUT, R [1 ]
PATEL, NB [1 ]
DAPKUS, PD [1 ]
机构
[1] ROCKWELL INT CORP,CTR MICROELECTR RES & DEV,THOUSAND OAKS,CA 91360
关键词
D O I
10.1109/T-ED.1982.20958
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:1674 / 1675
页数:2
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