SIMULATION EXPERIMENT ON REMOVAL OF CARBON-FILM FROM OBSERVATION WINDOW OF CARBONIZED FUSION MACHINE

被引：2

作者：

SAKAMOTO, Y

ISHIBE, Y

OKAZAKI, K

OYAMA, H

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | 1986年 / 25卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.25.764

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：764 / 765

页数：2