EPITAXIAL-GROWTH OF TANTALUM DEPOSITS TANTALUM SURFACE DURING THERMAL-DECOMPOSITION OF GASEOUS CHLORIDE

被引：4

作者：

PIQUARD, G ^{[1
]}

CARADEC, JY ^{[1
]}

WEBER, B ^{[1
]}

机构：

[1] CNRS,CTR CINETIQUE PHYS & CHIM,ROUTE VANDOEUVRE,54600 VILLERS,FRANCE

来源：

JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH | 1975年 / 29卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(75)90184-0

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

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页码：367 / 372

页数：6

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