SILICON-WAFER-SURFACE DAMAGE REVEALED BY SURFACE PHOTO-VOLTAGE MEASUREMENTS

被引：17

作者：

GOODMAN, AM

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.330126

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：7561 / 7565

页数：5

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共 7 条

[1]

BRUNK HD, 1960, INTRO MATH STATISTIC, pCH12

GOODMAN, AM .

[3]

GOODMAN AM, 1980, 1980 INT EL DEV M WA, P231

[4]

GOODMAN L, COMMUNICATION

[5]

JENKINS MW, 1977, J ELECTROCHEM SOC, V124, P577

[6]

MOSS TS, 1959, OPTICAL PROPERTIES S, pCH4

[7]

1979, 1979 ANN BOOK AST 43, P770