RESIDUAL DONOR CONTAMINATION IN MOCVD, MOMBE AND MBE GAAS STUDIED BY FAR-INFRARED SPECTROSCOPY

被引:13
作者
HOLMES, S
PHILLIPS, CC
STRADLING, RA
WASILEWSKI, Z
DROOPAD, R
PARKER, SD
YUEN, WT
BALK, P
BRAUERS, A
HEINECKE, H
PLASS, C
WEYERS, M
FOXON, CT
JOYCE, BA
SMITH, GW
WHITEHOUSE, CR
机构
关键词
D O I
10.1088/0268-1242/4/9/012
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:782 / 790
页数:9
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