PD-SNOX MIS CAPACITOR AS A NEW TYPE OF O-2 GASEOUS SENSOR

被引：16

作者：

KANG, WP ^{[1
]}

XU, JF ^{[1
]}

LALEVIC, B ^{[1
]}

POTEAT, TL ^{[1
]}

机构：

[1] AT&T BELL LABS,MURRAY HILL,NJ 07974

来源：

IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS | 1987年 / 8卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1109/EDL.1987.26606

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：211 / 213

页数：3

共 8 条

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