ROTATING SCAN FOR ION-IMPLANTATION

被引：19

作者：

ROBERTSON, GI ^{[1
]}

机构：

[1] WESTERN ELECT CO INC,ENGN RES CTR,PRINCETON,NJ 08540

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1975年 / 122卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2134325

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：796 / 800

页数：5

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共 2 条

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