CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION AND HOMOGENEOUS NUCLEATION IN FLUIDIZED-BED REACTORS - SILICON FROM SILANE

被引：47

作者：

LAI, S

DUDUKOVIC, MP

RAMACHANDRAN, PA

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0009-2509(86)87140-8

中图分类号：

TQ [化学工业];

学科分类号：

0817 ;

摘要：

引用

页码：633 / 641

页数：9

共 25 条

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