3-DIMENSIONAL SURFACE MEASUREMENT USING THE CONFOCAL SCANNING MICROSCOPE

被引：112

作者：

HAMILTON, DK

WILSON, T

机构：

来源：

APPLIED PHYSICS B-PHOTOPHYSICS AND LASER CHEMISTRY | 1982年 / 27卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1007/BF00697444

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：211 / 213

页数：3

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共 4 条

[1]

HAMILTON DC, UNPUB

HAMILTON, DK ;

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SHEPPARD, CJR .

[3] DEPTH OF FIELD IN SCANNING MICROSCOPE [J].

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APPLIED PHYSICS, 1980, 22 (02) :119-128