SIMPLE METHOD FOR DETERMINING INTERNAL VOLUME OF A VACUUM-SYSTEM

被引：2

作者：

LEE, CO ^{[1
]}

PEAVEY, JH ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV OKLAHOMA,SCH CHEM ENGN & MAT SCI,NORMAN,OK 73069

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1976年 / 13卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569085

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1108 / 1109

页数：2