GETE THIN-FILMS - AMORPHOUS AND CRYSTALLINE CHARACTERISTICS

被引：11

作者：

TRAN, NT

CHANG, YC

FARAGALLI, DA

ROBERTS, SS

JOSEFOWICZ, JY

SHING, YH

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1983年 / 1卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.572131

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：345 / 347

页数：3

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共 5 条

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