MODIFICATION OF A PLASMA-THERM INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SUPPLY TO ENABLE RADIO-FREQUENCY POWER MODULATION

被引：7

作者：

ENSMAN, RE ^{[1
]}

CARR, JW ^{[1
]}

HIEFTJE, GM ^{[1
]}

机构：

[1] INDIANA UNIV,BLOOMINGTON,IN 47405

来源：

APPLIED SPECTROSCOPY | 1983年 / 37卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1366/0003702834634721

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：571 / 573

页数：3

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共 1 条

[1]

CARR JW, UNPUB SPECTROCHIM AC