EFFECT OF PHASE SEPARATION ON HF ETCH RATE OF BOROSILICATE GLASSES

被引:30
作者
TOMOZAWA, M
TAKAMORI, T
机构
[1] RENSSELAER POLYTECH INST,DEPT MAT ENGN,TROY,NY 12181
[2] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HTS,NY 10598
关键词
D O I
10.1111/j.1151-2916.1977.tb15546.x
中图分类号
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
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页数:4
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