THIN-FILM AL2O3-TIO2 COMPOSITE DIELECTRIC

被引:7
作者
TIKU, SK
SMITH, GC
机构
关键词
D O I
10.1007/BF02656680
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页数:7
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